精密電子デバイスの信頼性は、きわめて繊細な汚れを残さない洗浄工程にかかっている。近年では環境負荷低減と人・装置への安全性を両立するため、水系分散剤への置き換えが急ピッチで進む。そうした要求に応える高機能製品として、寧波イノファームケム株式会社が開発した電子材料グレードAA/AMPS共重合体が注目を集めている。

この共重合体はアクリル酸と2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸（AMPS）を精密に重縮合させた水溶性高分子。分子設計の中心には、一度浮遊した微粒子や有機残渣を再び基板表面に沈着させない「抗再付着機構」が組み込まれている。微細パターンや3D構造が進む最先端デバイスでも、ナノレベルの汚れを確実に固定し洗浄液ごと除去できる。

水系処方の採用により、有機溶剤由来のVOC（揮発性有機化合物）を大幅に削減できるほか、廃液処理も簡便になる。AA/AMPS共重合体はイオン性不純物をppbレベルまで精製された電子材料グレードをラインアップし、ウエハー、プリント基板、精密光学部品の各洗浄工程で高いクリーン性を維持する。

主なメリットは以下の通り。

  • 微粒子・有機汚れ双方に対する高分散能：複数の汚れ種を一度に分解・浮遊し、洗浄効率を飛躍的に向上。
  • 優れた抗再付着性能：洗浄液循環時でも汚れが再付着せず、歩留まりと信頼性が確保される。
  • 高純度で装置腐食リスクを最小化：金属イオンや不純物を極限まで除去し、デリケートな電子回路にダメージを与えない。

寧波イノファームケム株式会社は、半導体プロセス向け化学ソリューションへの継続的な投資を進めている。AA/AMPS共重合体はその最先端技術の一つであり、メーカーはこの製品を採用することで高い歩留まりとESG経営を両立できる。次世代電子製造の洗浄工程を、よりクリーンで持続可能な形に刷新する一助となる製品である。