エレクトロニクス製造が極めて高い精度を要求される時代において、高純度かつ厳格な品質管理がされた特殊化学品は欠かせない。その中心に立つのが、CAS番号「7782-78-7」で知られるニトロス硫酸だ。フォトレジスト材料の合成に必須の本化合物に注目し、フインケミカル事業を通じて技術革新を支える寧波イノファームケム株式会社が最新事情を語る。

ニトロス硫酸（HNO₅S）は、特徴的な化学構造と反应性を備え、淡黄色の粘性液体として取り扱われる。水中では徐々に分解する性質を持つものの、電子部品製造においてはスルホン化剤として重要な中間体として機能する。半導体プロセスに求められる微細パターン形成を可能にする特殊化学品へと変換する鍵となるため、設計段階でCAS 7782-78-7の物性情報を厳密に把握することが不可欠だ。

さらに、ニトロス硫酸は錯体化する有機分子合成におけるニトロソ化・ジアゾ化反応のための試薬としても活用される。高精細なフォトレジストを構成するための反応性や選択性は、本化合物の純度に大きく依存する。実際にはフォトレジスト化学品の品質を左右する要因の一つであり、安定調達には信頼できるサプライチェーンが欠かせない。寧波イノファームケム株式会社では、年間トン単位の高純度製品からカスタムグレードまで幅広く供給し、研究開発から量産までの各フェーズの要求に応える体制を整えている。

フォトリソグラフィ技術は、半導体ウエハ上に回路パターンを露光・現像することで次世代デバイスの実装を実現する。この際使用されるフォトレジストの感光度、解像度、さらには長期保存安定性は、ニトロス硫酸を含む原材料の一貫した品質に直結する。寧波イノファームケム株式会社の高純度ニトロス硫酸は、その一貫した金属不純物レベルとロット間バラツキの極小化で市場から高い信頼を得ており、最先端プロセスにおける歩留まり向上にも貢献している。今後もスケールアップ投資を進め、日本市場を含むグローバル顧客へタイムリーな供給を維持するとしている。