プレッシャースイング吸着式(PSA)システムに組み込まれたカーボンモレキュラーシーブ(CMS)で生成される超高純度窒素ガス。その多彩な産業用途を一挙に紹介――電子、食品、化学、さらには自動車・金属加工まで。