製品のコアバリュー
六フッ化モリブデン
六フッ化モリブデン（MoF6）は半導体産業に欠かせないクリティカルな無機化合物です。卓越した純度と制御された反応性により、化学気相成長（CVD）やプラズマエッチングといった先進プロセスにおいて最適材料とされています。揮発性モリブデン源として、MoF6はモリブデン含有薄膜を精密に堆積させ、次世代マイクロエレクトロニクスデバイスの創出に欠かせません。
- 半導体CVDプロセスをマスターする： MoF6の高純度を活かして半導体CVD応用における精密薄膜堆積を実現し、デバイス性能を最適化します。
- 高精細プラズマエッチング： MoF6を用いたプラズマエッチングにより半導体ウェハに複雑なパターンを形成し、マイクロチップ製造における重要工程を実現します。
- 先進エレクトロニクスを実現： MoF6は高性能集積回路や最先端電子機器に不可欠な、極めて精密な導電層の生成を可能にします。
- 多様な産業応用： 半導体製造以外にも、MoF6は核プロセスに重要な役割を果たし、さまざまなフッ化反応で効果的触媒としても利用されます。
六フッ化モリブデンの優位性
卓越した純度
99.99％以上というMoF6の純度で、敏感な半導体ファブプロセスのプロセスインテグリティを維持して優れた結果を達成できます。
制御された反応性
MoF6の制御された反応性のおかげで、モリブデン薄膜が均一かつ精密に堆積し、先進材料科学応用に不可欠です。
ナノスケール構造の実現
MoF6の特性により、現在の高密度・高性能電子デバイスで要求されるナノスケール特徴を創出できます。
主要アプリケーション
半導体製造
MoF6はCVDおよびプラズマエッチングに欠かせず、先進集積回路およびマイクロチップの製造を可能にします。
核プロセス
当該化合物は核燃料プロセスで役割を果たし、特化産業応用における重要性を示しています。
触媒
MoF6はフッ化反応における触媒として機能し、化学合成および改質における有用性を実証しています。
材料科学研究
独特の特性によりMoF6は、材料科学および先端技術における最先端研究で貴重な化合物となっています。