真空技術という高度な分野では、真空ポンプ用潤滑油の選定は、システムの性能、信頼性、寿命に直接影響を与える極めて重要な決定事項です。従来の潤滑油は、低圧、高温、および反応性プロセスガスの潜在的な存在下でしばしば苦戦します。Fomblin Z-DOLのようなパーフルオロポリエーテル(PFPE)は、真空ポンプ用流体としての卓越した特性から、これらの用途で選ばれる選択肢として浮上しています。

真空システムにおけるPFPEの優位性の主な理由は、その極めて低い蒸気圧にあります。この特性により、真空ポンプ内での蒸発が最小限に抑えられ、オイルが真空チャンバーに移行するのを防ぎ、真空環境の純度を維持します。特殊なFomblin Z-DOL真空ポンプ用流体として、これは最小限の汚染で一貫した潤滑とシーリングを提供し、半導体製造、薄膜成膜、科学研究などのデリケートなプロセスに不可欠です。

低い蒸気圧に加え、PFPEは顕著な化学的不活性を誇ります。多くの真空プロセスでは、従来の潤滑油を劣化させ、ポンプの故障やプロセス汚染につながる可能性のある攻撃的なガスや副産物が関与します。Fomblin Z-DOLの固有のパーフルオロポリエーテル潤滑油化学的耐性は、反応性化学物質、酸、塩基、ハロゲンにさらされても、潤滑油が安定して機能することを意味します。これにより、化学処理、エッチング、CVD用途で使用されるポンプに理想的な潤滑油となります。

さらに、PFPEは優れた熱安定性を示し、真空ポンプ内、特に高スループットプロセス向けに設計されたポンプ内で発生する可能性のある高温でも確実に動作します。エレクトロニクスおよび産業用途向けのこの高温PFPE潤滑油は、潤滑油の粘度が安定し、潤滑特性が維持されることを保証し、ポンプ部品の摩耗や焼き付きを防ぎます。Fomblin Z-DOL PFPE潤滑油の幅広い温度範囲における応用は、その多用途性をさらに強調しています。

真空システムの信頼性の高い動作は、科学的発見や産業生産において、しばしば譲れません。寧波イノファームケム株式会社は、Fomblin Z-DOLのような高品質PFPE潤滑油へのアクセスを提供し、真空ポンプが最適な性能、延長されたサービス間隔、および最も困難な真空環境における強化されたシステム信頼性を達成するために、可能な限り最高の潤滑を備えていることを保証します。当社は、これらの高性能潤滑油の主要サプライヤーとして、また専門メーカーとして、お客様のプロセスに不可欠なソリューションを提供します。