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サンテアニン：精密化学によるフォトレジスト性能向上

寧波イノファームケム株式会社が、電子用途における精密化学を通じてサンテアニン（L-テアニン、CAS 3081-61-6）がフォトレジスト性能を向上させる方法について解説します。