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微細加工の要となる化学物質：4-アセトキシスチレン（CAS 2628-16-2）

高解像リソグラフィの要となる化学材料として注目を集める4-アセトキシスチレン（CAS 2628-16-2）。微細パターン形成に欠かせない性能と応用を解説します。