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HMDS：化学気相成長（CVD）における先進コーティング用前駆体

化学気相成長（CVD）における分子前駆体としてのヘキサメチルジシラザン（HMDS）の役割を探ります。これにより、先進的な炭化ケイ素窒化物（SiCN）薄膜とコーティングが作成されます。寧波イノファームケム株式会社は、これらの最先端用途に必要な高純度HMDSを供給しています。