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2-メチルベンゼンアセトニトリルを活用したフォトレジスト性能の向上

2-メチルベンゼンアセトニトリル（PAG103）が、高度なリソグラフィに不可欠な、UV感度と触媒酸生成の向上を通じてフォトレジスト性能をどのように強化するかをご覧ください。