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超純度DMSOが現代半導体製造に与える決定的インパクト

最高純度の電子工業用ジメチルスルホキシド（DMSO）が、異物ゼロに近い溶解力で半導体前工程を革新。ウェハクリーニングからフォトレジスト剥離まで精密工程を支える次世代溶剤の全貌を解説。