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電子デバイス最先端を支ける「EDTA」、フォトレジスト工程でのキーテクノロジー

EDTA（CAS番号60-00-4）は半導体微細加工の要、フォトレジスト配合で金属不純物を完封。精密露光を支える電子化学薬品の最重要成分を解説。