ニュース記事タグ: フォトレジスト接着

フォトレジスト接着の科学：精密リソグラフィーのためのシラン活用

3-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシランなどのシランカップリング剤が、高度なリソグラフィープロセスにおける精密なフォトレジスト接着を実現する上で果たす重要な役割を解説します。専門メーカーから調達しましょう。