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半導体プロセスで欠かせないフッ化水素、エッチング・洗浄と超高純度への要求

デジタル社会を支える半導体製造において、フッ化水素（HF）はウエハのエッチング・洗浄に不可欠。超高純度の必要性と最新動向を詳しく解説します。