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2,3-ジヒドロベンゾフランによる半導体リソグラフィの最適化

2,3-ジヒドロベンゾフラン（CAS 496-16-2）が半導体リソグラフィをどのように強化するかを探る。大手中国メーカーによるフォトレジスト配合におけるその役割について学ぶ。