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ALD/CVD前駆体：プラチナ化合物による薄膜成膜の最適化

Trimethyl(cyclopentadienyl)platinum(IV) の先進的なALD/CVD前駆体としての機能について解説。信頼できるメーカーから高純度プラチナ化合物をお買い求めください。