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高真空システムにとって低蒸気圧シリコーンオイルが極めて重要な理由

高真空達成に不可欠なシリコーン拡散ポンプ油の低蒸気圧の重要性を解説。寧波イノファームケム株式会社による酸化耐性と製品信頼性について。