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電子材料の薄膜形成技術におけるPt(acac)₂の可能性を探る

寧波イノファームケム株式会社が、電子デバイス向け薄膜プロセスに不可欠な白金（II）アセチルアセトナート（Pt(acac)₂）の先駆体としての応用力を考察し、その重要性を考察。