В требовательной сфере прецизионного травления стекла ключевое значение имеют достижение стабильной шероховатости поверхности и сохранение целостности фоторезиста. Для руководителей отделов НИОКР и производственных инженеров переход от традиционных ванн с плавиковой кислотой (HF) к передовым источникам фтора, таким как дигидрат фторида тетраэтиламмония (TEAF), представляет собой критически важный этап развития. В этой статье, основанной на практическом опыте работы в отрасли, рассматривается, как TEAF — в частности, промышленный сорт N,N,N-триэтилэтанаминия фторид дигидрат — может быть использован для оптимизации процесса травления при обеспечении надежности цепочек поставок через партнеров, таких как NINGBO INNO PHARMCHEM CO.,LTD.
