Неуклонное стремление к миниатюризации и повышению функциональности в микроэлектронике предъявляет высокие требования к материалам, используемым в производственных процессах. Среди них фоторезисты играют ключевую роль, выступая в качестве критически важного посредника, который преобразует оптические или электронные шаблоны в физические структуры на подложке. Для производителей, специализирующихся на микроэлектромеханических системах (MEMS), выбор правильного фоторезиста имеет первостепенное значение для достижения сложных конструкций и высокой производительности, необходимых в современных передовых приложениях. Понимание нюансов этих материалов, особенно их химического состава и технологических характеристик, является ключом к успеху.

Существенным достижением в этой области являются составы фоторезистов, использующие катионно-полимеризуемые смоляные компоненты. Эти специализированные смолы часто включают как эпоксидные, так и карбоксильные группы. Эта уникальная двойная функциональность играет важную роль в достижении нескольких критически важных показателей производительности. Во-первых, наличие эпоксидных групп позволяет осуществлять катионную полимеризацию при инициировании кислотами, генерируемыми фотогенераторами при воздействии излучения. Этот процесс приводит к образованию сшитой сетки, нерастворимой во многих распространенных растворителях. Во-вторых, карбоксильные группы обеспечивают необходимую растворимость в водных щелочных проявителях. Эта комбинация имеет решающее значение для формирования изображения по негативному типу, где облученные участки становятся нерастворимыми, а необлученные участки могут быть избирательно удалены проявителем, тем самым создавая точное рельефное изображение. Этот процесс мокрой химической проявки часто предпочтительнее из-за его экономической эффективности и экологических преимуществ по сравнению с методами на основе органических растворителей.

Способность достигать высокого коэффициента аспекта, то есть значительного соотношения высоты к ширине в сформированных структурах, является еще одной определяющей характеристикой передовых фоторезистов. Это особенно важно в производстве MEMS, где компоненты часто требуют сложных трехмерных структур. Фоторезисты, способные образовывать вертикальные боковые стенки с минимальным подтравиванием, жизненно важны для обеспечения целостности и функциональности этих микроустройств. Составы, включающие специфические структуры смол и оптимизированные фотоинициаторы, разработаны для обеспечения такого уровня точности. Разработка этих фоторезистов стала ключевым фактором для таких технологий, как микрофлюидные устройства, передовые датчики и актуаторы.

Кроме того, этапы постобработки после формирования изображения не менее важны. После проявления шаблона фоторезиста он часто служит маской для последующих процессов, таких как гальванопластика. Фоторезист должен обладать отличной стойкостью к химическим веществам, используемым в этих гальванических ваннах, будь то никель, медь, золото или припой. Высоко ценятся материалы, сохраняющие свою структурную целостность без образования пузырей или потери адгезии при этих агрессивных химических обработках. Кроме того, для эффективного производства затвердевший фоторезист должен легко удаляться с окончательного металлического шаблона без повреждения нижележащей структуры. Эта возможность значительно упрощает производственный процесс и снижает затраты на производство. Поиск высокоразрешающих фоторезистивных технологий, которые сочетают в себе все эти требования, является текущей областью исследований и разработок, движимой необходимостью раздвинуть границы закона Мура и создавать все более сложные микроэлектронные устройства.

NINGBO INNO PHARMCHEM CO.,LTD. посвящает себя развитию области микропроизводства, поставляя высококачественные фоторезистивные материалы. Наша приверженность как производителя и поставщика в Китае гарантирует, что исследователи и инженеры имеют доступ к инновационным химическим решениям, необходимым для электронных компонентов нового поколения. Мы понимаем критическую роль, которую эти материалы играют в достижении точного формирования шаблонов и надежной производительности, и стремимся предоставлять продукты, которые соответствуют и превосходят ожидания отрасли.