Тетрафторметан (CF4), также известный как R-14 или углеродный тетрафторид, играет ключевую роль в полупроводниковой промышленности. Его уникальные химические свойства делают его идеальным выбором для критически важных производственных процессов, таких как плазменное травление и очистка камер. Являясь высокостабильным и инертным газом, CF4 обеспечивает последовательные и точные результаты, что имеет первостепенное значение при создании сложных микроэлектронных схем.

Основным применением CF4 в этом секторе является плазменное травление. Этот процесс использует газообразный CF4 для селективного удаления тонких пленок таких материалов, как кремний, диоксид кремния и нитрид кремния с поверхностей пластин. Высокое соотношение фтора к углероду в CF4 способствует образованию активных трифторметильных и фторных радикалов, обеспечивая агрессивные скорости травления с отличным контролем вертикальных профилей стенок. Эта точность жизненно важна для производства современных интегральных схем.

Помимо травления, CF4 также используется в качестве газа для очистки камер. Со временем оборудование для производства полупроводников может накапливать остатки. Плазма CF4 эффективно удаляет эти остатки, поддерживая чистоту и эффективность осадительных камер. Это профилактическое обслуживание необходимо для предотвращения загрязнения и обеспечения качества производимых чипов.

Понимание безопасного обращения и хранения CF4 имеет решающее значение. Поскольку это газ высокого давления, необходимо надлежащее управление баллонами и вентиляцией. Его статус мощного парникового газа также подчеркивает важность ответственного использования и удержания.

Для производителей, ищущих надежные решения для производства полупроводников, важно изучить преимущества CF4. Будучи надежным поставщиком в Китае, компания NINGBO INNO PHARMCHEM CO., LTD. предлагает CF4 высокой чистоты для удовлетворения жестких требований электронной промышленности. Наше стремление предоставлять высококачественные фторохимические продукты гарантирует, что клиенты получают материалы, необходимые для внедрения инноваций и поддержания производственного совершенства. Независимо от того, хотите ли вы купить CF4 для ваших процессов травления или ищете надежного поставщика для ваших потребностей в производстве полупроводников, NINGBO INNO PHARMCHEM CO., LTD. является вашим партнером.