Naviguer dans le paysage complexe des matériaux de résine photosensible nécessite une compréhension approfondie de leurs spécifications et de la manière dont elles se traduisent en performances réelles. Le LB-100, une résine photosensible non chimiquement amplifiée très appréciée, est un excellent exemple d'innovation matérielle conçue pour répondre aux exigences strictes de la nanolithographie moderne. Pour les scientifiques R&D et les spécialistes des achats, saisir ces détails techniques est vital lors de la prise en compte d'un achat. En tant que fabricant spécialisé, nous visons à apporter de la clarté sur ces aspects critiques.

La spécification principale du LB-100 est sa capacité à atteindre une haute résolution, avec une mise en forme démontrée de caractéristiques aussi petites que 34 nm. Ceci est largement attribué à sa conception en tant que résine à inversion de tonalité, non chimiquement amplifiée. Contrairement aux résines CAR (Chemically Amplified Resist), la sensibilité intrinsèque du LB-100 minimise la diffusion des espèces réactives, ce qui entraîne des bords plus nets et une rugosité de bord de ligne réduite. Cette stabilité inhérente est un avantage significatif pour quiconque cherche à acheter LB-100 pour des applications de précision.

Une autre spécification clé est l'excellente résistance à la gravure du LB-100. L'article note un rapport de gravure de 7,2:1 par rapport au silicium, ce qui est considérablement plus élevé que de nombreuses résines photosensibles organiques conventionnelles. Cette propriété est critique pour l'étape de transfert de motif dans la fabrication de semi-conducteurs, garantissant que les motifs délicats créés par lithographie peuvent résister aux processus de gravure ultérieurs sans dégradation. Cela fait du LB-100 un choix fiable pour les fournisseurs de matériaux.

L'application du matériau en lithographie EUV, la mise en forme de nanostructures complexes, et sa caractérisation via FESEM et AFM soulignent davantage ses mérites techniques. Pour ceux qui sont intéressés par l'approvisionnement en LB-100, la compréhension de ces spécifications met en évidence son aptitude à la fabrication microélectronique avancée. Nous, en tant que fabricant et partenaire technologique, offrons des données techniques complètes et un support pour vous aider à intégrer efficacement le LB-100 dans vos processus. Contactez-nous dès aujourd'hui pour discuter des prix et de la disponibilité pour vos besoins en nanolithographie.