ニュース記事タグ: フォトレジスト剥離

半導体パターン精度向上に酢酸エチルが果たす剥離プロセスの役割

寧波イノファームケム株式会社が、半導体リソグラフィー工程におけるフォトレジスト剥離に活用される酢酸エチルの役割を解説。高い精度と効率性を実現する理由に迫る。