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自社製高純度窒素の核心技術――炭素分子ふるいを深く探る

高純度窒素を自社で生成する「PSA法」で不可欠な「炭素分子ふるい（CMS）」の仕組みを解説。CMSが工業用ガス供給をどう革新したか、詳しくご覧ください。